原因是測量點只有一個,很難清楚地識別位置。
另外,我想避免接觸測量,如果可能的話,這可能會導(dǎo)致劃痕。尤其是半導(dǎo)體曝光機的大口徑鏡頭,
玻璃材質(zhì)是有原因的,但要求光學(xué)性能高,
壁厚公差嚴格。
測量的另一個原因是為了
響應(yīng)在鏡片加工過程中(特別是在初始階段)測量壁厚的要求。如您所知,被稱為難玻璃
材料的軟玻璃材料,由于晶體取向的問題,具有被快速刮掉的特性。此外,材料成本
高,我們希望減少加工錯誤。此外,使用其他公司的測量光,通過樣品正面和背面的
反射光測量壁厚的設(shè)備無法進行此測量。
* 由于測量粗糙表面時物體之間的距離會有輕微誤差,
建議使用四邊形位移計或在表面涂油。