有機薄膜的厚度膨脹測量用-激光熱膨脹儀LIX-2系列
可以以最小分辨率 1 nm 檢測有機薄膜、低膨脹玻璃、金屬等厚度方向的微小熱膨脹。
測量熱膨脹的方法包括推桿法、光學干涉法、遙測法和電容器法。
它采用雙光路邁克爾遜激光干涉測量法,被認為是現(xiàn)有的精確的測量方法。
通過使用零摩擦平移鏡,只需將樣品端面加工成球面即可輕松進行測量。
此外,通過使用可選的石英墊片,可以在改變溫度的同時測量所需的薄膜厚度。LIX-2 雙路邁克爾遜激光干涉膨脹儀是業(yè)界的商用型號。
有機薄膜的厚度膨脹測量
低膨脹玻璃高精度膨脹測量
低膨脹金屬材料的質(zhì)量控制測量
密封劑膨脹的測量
各種電子元件的精密熱膨脹測量
標準膨脹計校準樣品的測量
使用平行移動樣品架可實現(xiàn)穩(wěn)定測量
超精密測量,讀數(shù)分辨率為 1nm
通過使用石英樣品,還可以測量厚度為50至500μm的薄膜和薄板的厚度方向。
平行移動樣品架符合JISR3251-1995
模型 | LIX-2M | LIX-2L |
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溫度范圍 | 室溫~700℃ | -150至200℃ |
樣本量 | φ3~6mm x 長度10mm~15mm 長度方向兩端均為球面加工 | |
測量氣氛 | ?真空中 ?低壓高純氦氣中 | |
測量方法 | 雙光路邁克爾遜型激光干涉法 |
安裝占地面積 | 本體約寬2000mm x 深800mm |
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所需電源 | 主機 AC100V 15A(帶插座和接地) 2處 |
需要接地 | D級(接地電阻100Ω以下) |
冷卻水 | 自來水或蒸餾水3L/min以上,壓力0.15MPa以上 |
*經(jīng)評估,所有產(chǎn)品在±150°C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)均為10 -8 /K。
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