ballwave球SAW傳感器的特點(diǎn)分析
Ball Wave 的基礎(chǔ)技術(shù)“Ball SAW 傳感器”是一種緊湊、高速、高靈敏度的創(chuàng)新化學(xué)傳感技術(shù)。
直徑1毫米
將超聲波的一種——表面聲波(SAW)以帶狀限制在球體表面,從而實(shí)現(xiàn)緊湊的尺寸。
敏感膜
由于軌道聲表面波多次穿過(guò)敏感膜,因此即使敏感膜很薄也可以測(cè)量氣體響應(yīng)。由于敏感膜很薄,因此在膜中的擴(kuò)散時(shí)間短且快。
長(zhǎng)距離傳播
由于敏感膜上的氣體吸附而導(dǎo)致的 SAW 物理性質(zhì)的變化在一個(gè)循環(huán)中非常小,但通過(guò)重復(fù)循環(huán),這種變化可以放大,從而產(chǎn)生高靈敏度。
通過(guò)根據(jù)測(cè)量目標(biāo)在微小的水晶球表面形成不同的敏感膜,可以測(cè)量多種氣體,例如微量水分、氫氣、天然氣和有機(jī)混合氣體。
除了水晶球的耐高溫和高壓性能外,它還具有比傳統(tǒng)技術(shù)高約100倍的靈敏度和更快的響應(yīng)速度,擴(kuò)展了全新傳感器系統(tǒng)的可能性。
SAW;表面聲波
發(fā)現(xiàn)了這樣一種物理現(xiàn)象:當(dāng)在寬度等于球體直徑和波長(zhǎng)的幾何平均值的球體表面激發(fā)表面波時(shí),表面波像
自然平行光束一樣繞多圈,而沒(méi)有任何衍射現(xiàn)象。
多圈的聲表面波會(huì)隨著圈數(shù)放大聲速和衰減率的變化,從而可以更精確地測(cè)量這些變化。
通過(guò)在該多圈傳播路徑上安裝敏感薄膜,可以獲得小型、高速、高靈敏度的球型SAW傳感器。
測(cè)量氣體 | 水蒸氣 | 有機(jī)混合氣體 | 氫 | 病毒 |
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敏感膜 | 無(wú)定形二氧化硅 | 二甲基硅氧烷 (色譜柱材料) | 鈀合金 (Pd Ni、Pd Pt) | 抗體 適體 |
方法 | 單傳感器 | 氣相色譜法 | 單傳感器 | 單傳感器 |
產(chǎn)品 | 微量水分測(cè)定儀 | 便攜式氣相色譜儀 | 氫傳感器 | 抗原抗體傳感器 |
方法比較 | 靈敏度范圍 |
---|---|
場(chǎng)效應(yīng)管 | 10ppm-1%(低濃度) |
電阻 | 1%-100%(高濃度) |
表面聲波 | 0.1%-100%(高濃度) |
球鋸 | 0.001%-100%(全量程) 快速響應(yīng) |
電極孔徑 α=√λD
λ: SAW 波長(zhǎng)
D: 球體直徑
高靈敏度
反應(yīng)快
非破壞性的