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質(zhì)量流量控制器是一種流量控制裝置，用于測(cè)量質(zhì)量流量并自動(dòng)控制設(shè)定的流量。 雖然有兩種測(cè)量流體的方法，質(zhì)量流量（重量）和體積流量（體積），但質(zhì)量流量控制器可以精確測(cè)量和控制質(zhì)量流量，而不受溫度和壓力波動(dòng)的影響。 因此，它被廣泛用于半導(dǎo)體制造工藝、分析設(shè)備和其他需要高重現(xiàn)性和準(zhǔn)確性的場(chǎng)合。
質(zhì)量流量通常使用熱傳感器和科里奧利傳感器來(lái)測(cè)量質(zhì)量流量。 熱傳感器使用溫度隨流體流動(dòng)而變化的原理來(lái)測(cè)量質(zhì)量流量。 另一方面，科里奧利傳感器檢測(cè)由流體振蕩引起的科里奧利力，并相應(yīng)地測(cè)量質(zhì)量流量。 有必要根據(jù)流體（氣體/液體）和使用條件選擇方法。
典型熱質(zhì)量流量控制器的主要部件是流量傳感器、控制閥和旁路。 該操作將按照以下過(guò)程自動(dòng)執(zhí)行。
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加熱質(zhì)量傳感器并測(cè)量流體運(yùn)動(dòng)（質(zhì)量流量）
橋式電路將質(zhì)量流轉(zhuǎn)換為電信號(hào)
放大由運(yùn)算放大器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的質(zhì)量流量信號(hào)
AD/DA轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)
將設(shè)定的流速與算術(shù)電路中的電流流速進(jìn)行比較
用于驅(qū)動(dòng)閥門(mén)執(zhí)行器的PID控制
重復(fù)1~6（反饋控制）
熱式質(zhì)量流量控制器的流量傳感器原理如下：
不銹鋼毛細(xì)管纏繞著兩根電熱絲，在相同的溫度下加熱。 這些加熱絲位于流體流動(dòng)的路徑上。
當(dāng)氣體停止時(shí)，上游和下游的電熱絲將保持相同的溫度，不會(huì)失去平衡。
然而，當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí)，上游電熱絲被剝奪了氣體的熱量，并且平衡隨著它向下游流動(dòng)而改變。
為了檢測(cè)這種變化，使用安裝在毛細(xì)管中的橋式電路。 橋式電路是用于測(cè)量電信號(hào)并比較來(lái)自上游和下游電熱絲的信號(hào)的電路。
由于氣流引起的平衡變化通過(guò)電橋電路轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。 該信號(hào)以質(zhì)量流量測(cè)量。
熱質(zhì)量流量控制器使用這種基于熱量的測(cè)量原理測(cè)量流量。 該測(cè)量的流量信息被反饋到后續(xù)控制電路，并通過(guò)閥門(mén)的控制進(jìn)行控制動(dòng)作以使流量更接近設(shè)定值。 根據(jù)流量傳感器的設(shè)計(jì)和技術(shù)，每家公司的質(zhì)量流量控制器可能具有不同的功能。
Lintec的質(zhì)量流量利用其的低溫傳感結(jié)構(gòu)，開(kāi)發(fā)了第一個(gè)液體質(zhì)量流量控制器，包括氣體流量控制。
Lintec的質(zhì)量流量控制器采用低溫傳感結(jié)構(gòu)（環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器），可實(shí)現(xiàn)高精度和高速測(cè)量。 該傳感器的原理是一種的結(jié)構(gòu)，它將環(huán)境溫度反饋給流量傳感器，因此流量傳感器的溫度不會(huì)超過(guò)必要的上升。
對(duì)傳感器的熱損傷較?。ㄊ褂脡勖L(zhǎng)）：低溫傳感結(jié)構(gòu)可降低流量傳感器的溫度。 這樣可以減少對(duì)傳感器的熱損壞并延長(zhǎng)物理使用壽命。
流體熱分解風(fēng)險(xiǎn)低（可控制臭氧等）：由于測(cè)量溫度低于一般質(zhì)量流量控制器，因此非常適合臭氧等熱分解風(fēng)險(xiǎn)高的氣體的流量控制。 熱量對(duì)流體的影響可以最小化。
高速流量控制：與傳統(tǒng)的熱傳感器相比，低溫傳感結(jié)構(gòu)提供了壓倒性的響應(yīng)速度。 在需要快速流量控制時(shí)具有出色的性能。
這種低溫傳感結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了高精度、高速的流量測(cè)量和控制。
氣態(tài)氣體的質(zhì)量流量控制器有時(shí)縮寫(xiě)為氣體質(zhì)量。 這是一種為精確控制氣體流體而開(kāi)發(fā)的流體控制裝置，出現(xiàn)在液體質(zhì)量流量控制器之前。 根據(jù)波義耳-查爾斯定律，氣體在溫度和壓力的影響下會(huì)改變其體積，而氣體質(zhì)量流量控制器提供精確的流量測(cè)量，而不受溫度或壓力的影響，并且可以通過(guò)內(nèi)置控制閥通過(guò)設(shè)定的流量自動(dòng)控制。 主要使用恒壓比熱的熱質(zhì)量流量控制器是主流。
液體質(zhì)量流量控制器，縮寫(xiě)為液體質(zhì)量，是為精確的液體流量控制而開(kāi)發(fā)的。 Lintec開(kāi)發(fā)了第一個(gè)熱液質(zhì)量流量控制器，為半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新做出了貢獻(xiàn)。 除了熱型外，還有科里奧利型和差壓型等方法。
總結(jié)
氣體質(zhì)量流量控制器是一種專用的氣體流體控制裝置，可實(shí)現(xiàn)精確的流量控制，而不受溫度或壓力的影響。
液體質(zhì)量流量控制器，縮寫(xiě)為液體質(zhì)量，可實(shí)現(xiàn)精確的液體流量控制。 林泰研發(fā)出第一臺(tái)熱液質(zhì)量流量控制器。
| 長(zhǎng)處 | 型 | 通信標(biāo)準(zhǔn) 電源 | 溫度 響應(yīng)速度 精度 | 用法 關(guān)鍵字 |
|---|---|---|---|---|
 fast MFC | MC-7000 | 設(shè)備網(wǎng) 以太網(wǎng) DC24V 電源 | 5~50°C 0.2秒 ±1.0%標(biāo)準(zhǔn)/點(diǎn) | 半導(dǎo)體薄膜沉積原子 層沉積 |
 EtherCAT MFC | MC-5000C | 以太網(wǎng)直流 24V電源 | 5~50°C 1秒 ±1.0%安全點(diǎn) | 半導(dǎo)體薄膜沉積原子 層沉積 |
 DeviceNet MFC | MC-5000L | 設(shè)備網(wǎng) DC24V電源 | 5~50°C 1秒 ±1.0%安全點(diǎn) | 半導(dǎo)體薄膜沉積原子 層沉積 |
 精密數(shù)字MFC | MC-3000L | RS-485 模擬0~5V±15V 電源 | 5~50°C 1秒 ±1.0%安全點(diǎn) | 半導(dǎo)體 薄膜 沉積分析儀 |
 高溫MFC | MC-3000L-TC | RS-485 模擬0~5V±15V 電源 | 最高120°C 1秒 ±1.0%F.S. | 半導(dǎo)體 沉積 液化氣體 分析儀 |
 <img 解碼=“異步" 寬度=“ 低壓差 MFC | MC-3000S | RS-485 模擬0~5V±15V 電源 | 5~50°C 1秒 ±1.0%度 | 半導(dǎo)體 沉積 液化氣 固升華 |
 <img 解碼=“異步" 寬度=“ 可變 MFC | MC-700 | RS-485 模擬0~5V±15V 電源 | 15~35°C 1秒 ±1.0%度 | 半導(dǎo)體 薄膜 沉積分析儀 |
 低價(jià)MFC | MC-10 | RS-485（可選） 模擬0~5V±15V 電源 | 15~35°C 1秒 ±1.0%度 | 惰性氣體 分析儀 |
