ulvac電離真空計故障排除
由于靈敏度是用氮氣校準的,如果殘余氣體的主要成分不是氮氣,它將顯示與實際壓力不同的值。
在測量含有氧氣和水蒸氣的氣體時,燈絲會發(fā)生嚴重的反應(yīng)和劣化。
必須使用較低的發(fā)射電流來減少磨損,或者在表面上使用三重涂層的燈絲。
當測量低于 10-4Pa 的壓力時,必須對測量元件本身進行脫氣。
當開始脫氣時,由于大量排放的氣體,壓力增加,相反,它可能會污染測量設(shè)備。 確保在 10-4Pa 或更低的范圍內(nèi)脫氣。
如果產(chǎn)品在高壓下連續(xù)使用(三極管類型:10-1Pa或更高),燈絲會嚴重磨損,無法獲得恒定的發(fā)射電流。
1.測量裝置的燈絲不亮
2. 測量裝置的燈絲發(fā)出異常光(比平時更亮)
3. 燈絲點亮但不顯示壓力4. 燈絲亮了一會兒,但很快就消失了
5.讀取值搖擺不定
6.指示值與預(yù)期壓力明顯不同
7.無設(shè)定點信號輸出
原因 | 怎么辦 |
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斷絲 | 更換測量儀器 |
斷開測量儀電纜 | 維修、更換測量儀電纜 |
由于高壓 | 使用皮拉尼真空計檢查壓力 |
燈絲選擇開關(guān)配置錯誤 | 選擇合適的燈絲 |
原因 | 怎么辦 |
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斷開測量儀電纜 | 維修、更換測量儀電纜 |
控制器故障 | 請求維修 |
測量裝置劣化 | 更換測量儀器 |
原因 | 怎么辦 |
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斷開測量儀電纜 | 維修、更換測量儀電纜 |
控制器故障 | 請求維修 |
原因 | 怎么辦 |
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保護電路工作是因為被測壓力很高 | 使用皮拉尼真空計檢查壓力 |
控制器故障 | 請求維修 |
原因 | 怎么辦 |
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連接測量設(shè)備的連接處有真空泄漏 | 更換測量元件或改善連接處的真空泄漏 |
測量設(shè)備上的污垢 | 更換測量儀器 |
測量電纜正在振動 | 如果測量裝置電纜不斷振動,則測量單元電纜內(nèi)部的摩擦力可能會導(dǎo)致指示值交錯,應(yīng)重新考慮電纜安裝方法。 |
原因 | 怎么辦 |
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發(fā)生漏電流 | 由于測量器上的污垢,測量設(shè)備電纜絕緣不良而更換 |
?靈敏度系數(shù)設(shè)置不同 ?被測氣體不是氮氣或空氣。 | 檢查手冊并正確設(shè)置 |
壓力真的和預(yù)期的不一樣 | 通過其他真空計確認 |
原因 | 怎么辦 |
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更換控制器內(nèi)繼電器 | 繼電器故障 → 請求維修 |
發(fā)射電流未正常。 | 當發(fā)射變?yōu)镹G時,設(shè)定值信號的輸出也被取消。 →更換測量元件 |
原因 | 怎么辦 |
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高壓(超過10-1帕), | 檢查排氣系統(tǒng) |
斷絲 | 更換測量儀器 |
長絲磨損 | 更換測量儀器 |
測量設(shè)備內(nèi)部的污垢 | 更換測量儀器 |
測量設(shè)備電纜接觸不良或斷開 | 重新連接或更換測量儀電纜 |
控制器中電源電路故障 | 請求維修 |